是一种于半导体制造中金属化工艺的精密设备,主要用于在半导体晶圆、芯片或微型元件表面沉积均匀的金属镀层。其在于通过可控的电化学或化学镀工艺,实现高精度、高一致性的金属覆盖,满足集成电路封装、先进封装及微机电系统等领域的特定需求
与传统滚镀不同,半导体滚镀更注重工艺洁净度、镀层精度及与半导体材料的兼容性。
1.金属互连:在晶圆上形成铜导线。
2.凸块制备:沉积锡、铜、金等材料,用于芯片与基板的电气连接。
3.阻挡层/种子层镀覆:镀钛、钽等材料,防止金属扩散并增强附着力。
1.电镀槽:
材质:耐腐蚀材料,避免污染镀液
镀液循环系统:维持镀液成分均匀,过滤颗粒杂质
2.旋转载具:
晶圆固定装置:真空吸附或机械夹持,确保晶圆平稳旋转
转速控制:通过伺服电机调节转速,优化镀层均匀性
3.阳极系统:
可溶性/不溶性阳极:铜、铂等材料,依镀层需求选择
阳极位置调节:控制电场分布,减少边缘效应
4.供液与喷淋系统:
多点喷淋头:均匀分配镀液至晶圆表面,避免气泡滞留
流量控制:精确调节镀液流速,匹配不同工艺需求
5.控制系统:
PLC/工控机:集成温度、pH值、电流密度等参数监测与反馈。
配方管理:存储不同镀层的工艺参数 滚镀后的离心甩干设备内置防滑衬垫,高速旋转时固定工件,避免碰撞损伤并加速脱水。全自动电镀设备供应商家
是一种用于电镀实验的专业装置,它融合了滚镀和挂镀两种电镀方式于一体。
该设备通常由镀槽、滚桶、挂具、电源系统、搅拌装置、温控系统等部分组成。在进行电镀实验时,既可以将小型零件放入滚桶中进行滚镀,使零件在滚动过程中均匀地镀上金属层;也可以通过挂具将较大或形状特殊的零件悬挂在镀槽中进行挂镀,以满足不同类型零件的电镀需求。这种设备具有功能多样、操作灵活、占地面积小等优点,能够为电镀工艺的研究和开发提供便利,帮助科研人员和技术人员更好地掌握电镀技术,优化电镀参数,提高电镀质量。 全自动电镀设备供应商家耐温设备针对高温电镀工艺(如黑色氧化处理),槽体采用耐高温 FRP 材质,耐受 100℃以上药液长期侵蚀。
滚镀机的工作原理
将小工件装入带孔的滚筒(聚氯乙烯或不锈钢材质),滚筒浸入电解液后缓慢旋转(5~15 转 / 分钟),通过滚筒壁的孔洞使电解液流通,同时工件在滚筒内翻滚,确保镀层均匀附着。
优势:
高效率:单次可处理数千件小工件,产能远超挂镀(适合单件或少量)。
低成本:减少人工挂卸成本,滚筒导电杆统一通电,能耗相对较低。
均匀性:工件在滚筒内动态接触电解液,避免屏蔽效应(挂镀中工件相互遮挡导致镀层不均)。
与生产线其他环节的配合
前处理:需先通过除油、酸洗去除工件表面油污和氧化皮,否则影响镀层结合力(滚镀机不具备前处理功能,依赖生产线前段设备)。
后处理:滚镀完成后,工件随滚筒吊出,进入水洗槽、钝化槽或封闭槽(如镀锌后的蓝白钝化),终干燥(生产线后段设备完成)。
自动化控制:滚镀机的转速、电镀时间、电流电压等参数由生产线 PLC 系统统一控制,与传输装置(如行车)联动,实现 “上料→前处理→滚镀→后处理→下料” 全流程自动化。
1.磷化(Phosphating)是一种化学表面处理技术,利用磷酸盐溶液与金属(如钢铁、锌、铝等)发生反应,生成一层致密的磷酸盐晶体膜(如磷酸铁、磷酸锌)
2.全自动磷化线通过自动化设备实现磷化工艺全流程无人化操作,覆盖预处理、磷化、后处理等环节。
1.预处理单元
脱脂槽:去除金属表面油污
酸洗槽:氧化皮和锈迹
水洗槽:冲洗残留化学药剂
2.磷化处理单元
磷化槽:主反应区,金属浸泡或喷淋磷化液,生成转化膜
温度与浓度控制:通过传感器和自动加药系统维持工艺参数稳定
3.后处理单元
封闭/钝化槽:增强磷化膜耐腐蚀性
烘干系统:热风或红外烘干,避免水痕残留
4.自动化系统
输送装置:传送带、机械臂或悬挂链,精细控制工件移动
PLC控制:集成温控、液位监测、流程时序管理
数据监控:实时记录工艺参数,支持远程操作与故障诊断
上料 → 脱脂 → 水洗 → 酸洗 → 水洗 → 表调(调整表面活性)→ 磷化 → 水洗 → 钝化 → 烘干 → 下料。
电镀废水的重金属回收设备采用离子交换树脂,高效吸附镍、铜离子,实现资源循环利用。
废气处理设备是电镀设备不可或缺的配套设施,在电镀生产过程中发挥着重要作用,具体关系如下:
电镀过程中会产生如酸雾、碱雾、物气体等有害废气。若不进行处理,这些废气会弥漫在车间内,不仅会对操作人员的身体健康造成严重危害。废气处理设备通过收集和净化这些有害废气,能将车间内的空气质量维持在安全标准范围内,同时确保排放到大气中的废气符合环保要求,从而保护环境和人员健康。
电镀车间内的酸性或碱性废气具有腐蚀性,长期暴露在这些废气中,电镀设备如镀槽、整流器、加热装置等的金属部件会被腐蚀,导致设备的使用寿命缩短,维修成本增加。
废气处理设备有效去除有害废气,减少对电镀设备的腐蚀,保障电镀生产的稳定进行。
如果车间内废气弥漫,空气中的灰尘、杂质等容易吸附在待镀工件表面,影响镀层与工件的结合力,导致镀层出现麻点、、起皮等缺陷,降低电镀产品的质量和良品率。废气处理设备有助于保持车间内空气的清洁,减少空气中杂质对镀件的污染
随着环保法规的日益严格,电镀企业必须确保其生产过程中的废气排放达到国家和地方的环保标准。
硬质阳极氧化设备集成低温制冷系统,控制电解液温度在 0-10℃,生成厚度超 100μm 的耐磨膜层。全自动电镀设备供应商家
搅拌设备通过空气鼓泡或机械桨叶驱动电解液流动,避免浓度分层,提升镀层均匀性与沉积效率。全自动电镀设备供应商家
是为电阻、电容等微型电子元件设计的自动化电镀装置,通过三滚筒协同作业与全流程智能控制,实现高效、高精度镀层加工。要点:
三滚筒系统:
三个滚筒可同步处理不同工艺或元件(如电阻镀锡、电容镀银),或联动提升产能。滚筒采用PP/PVC等耐腐蚀材质,内部防碰撞分区设计,减少微小元件(如贴片电阻0201)的损伤风险
全自动控制:
集成PLC/工业电脑系统,自动完成上料、电镀、清洗、烘干流程。通过传感器实时监控镀液温度、pH值及电流密度,动态调节参数
电镀优化:
多级过滤与温控装置确保镀液稳定性;多点阴极导电技术适配电阻引脚、电容电极的复杂接触需求
高效灵活:三滚筒并行作业,产能较单筒提升50%以上,可同时处理多规格元件或多镀种
镀层高一致性:滚筒匀速旋转结合智能调控,确保微小元件表面镀层均匀
低损耗率:防摩擦结构+精细转速控制,元件破损率低于0.1%
典型场景:
电阻类:金属膜电阻端头镀锡、高精度电阻镀金
电容类:铝电解电容电极镀铜、MLCC电容镀镍抗氧化
关键注意:
按元件尺寸匹配滚筒孔径,防止漏料
定期检测镀液金属离子浓度,避免杂质影响镀层导电性
维护自动传输系统,减少卡料风险。 全自动电镀设备供应商家
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